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2002年12月1日号
2002年11月15日号
2002年11月1日号

INTERVIEW with Key Person
■カシオ計算機 透過/反射兼用の2WayバックライトLCDが好調  
■Eastman Kodak デジカメ用センサーで戦線拡張
■サンユレック 半導体パッケージで独自技術を世界に発信

SPECIAL FEATURE
■SEMICON JAPANプレビュー

ORIGINAL ARTICLE
■FRAMの完全代替狙うMRAM
■住友ゴム 凹版オフセット印刷機を独占公開
■ミクロ技術研究所 有機ELD用CF基板を開発
■サーマトロニクス PCB・有機ELD用露光装置市場へ侵攻

SERIAL PUBLICATION
■技術と法律のハザマ 第3回

INTERVIEW with Key Man
■激戦市場にまたしてもニューフェースが
  セントラル硝子がPDP用高歪点ガラス市場へ名乗り

CURRENT ARTICLE
■PDPプロジェクト技術普及講習会/大気開放型CVD研究会
■ナノテクフェア 東レが赤色有機発光パネルを公開
■第13回マイクロマシン展
■第33回PDP技術討論会 中国のPDP開発状況が明らかに

TECHNOLOGY FOCUS
■足踏み続くLow-k絶縁膜
■JST 三安定状態のメモリー性LCDを開発

MARKET INVESTIGATE
■前年同月比14.9%増と2桁成長を維持した9月の半導体出荷額
■WSTS 2002年秋季半導体市場予測を発表

SERIAL PUBLICATION
■スクリーン印刷のススメ 第12回

INTERVIEW with Key Person
■大日本インキ化学工業 ポリマーネットワークLCDでペーパーライクディスプレイを

SPECIAL FEATURE
■LCD/PDP International 大型テレビでTFT-LCDがPDPを猛追
 有機ELDは韓国・台湾メーカーもこぞってデモ  

CURRENT ARTICLE
■NECエレクトロニクス DRAM除く半導体事業で分離独立
■エルピーダの新社長に前UMCJ社長の坂本幸雄氏が就任
■AKT 1500×1800o対応プラズマCVD装置を開発
■シャープ半エネ CGシリコンでガラス基板上に8ビットCPUを形成

SERIAL PUBLICATION
■米国のエレクトロニクス事情 第3回

INTERVIEW with Key Man
■激戦市場にまたしてもニューフェースが
  セントラル硝子がPDP用高歪点ガラス市場へ名乗り

ORIGINAL ARTICLE
■Crystal Solution/常陽工学 単結晶のPDP用MgOペレットを開発
■フルヤ金属 反射電極&配線用ニューターゲットを開発
■エバテック 第5世代CF用研磨装置を開発

SPECIAL FEATURE
■マイクロマシン展
 半導体・FPDプロセスがマイクロマシンをバックアップ

TECHNOLOGY FOCUS
■CNT-FEDの積層パターニングプロセスが明らかに

CLOSE UP THE TREND
■低コストプロセス 問われるスタックドCSP
■電子ペーパーは07年に200億円マーケットに

SERIAL PUBLICATION
■スクリーン印刷のススメ 第11回

INTERVIEW with Key Person
■MicroEmissive Displays 驚異のローパワーマイクロOELDを開発  
■SMIC 中国最大ファウンドリが日本市場に販売攻勢

SPECIAL FEATURE
■半導体製造技術Forum2002開催

TECHNOLOGY FOCUS
■ノリタケ セラミックスシートを用いた新型PDPを開発  

ORIGINAL ARTICLE
■ジャパンハイテック PDP基板焼成過程観察ユニットを開発  

SERIAL PUBLICATION
■技術と法律のハザマ 第2回 法律の理解と特許の対象

CURRENT ARTICLE
■Euro Display 02 PDPの壁電荷分布測定法が脚光  
■NEC 世界初の電流ドライバ一体型有機ELDを開発  
■IDC Japan 国内PC市場セグメント別エンドユーザー動向を発表

INTERVIEW with Key Man
■オプトニクス精密 ブリッジメタルマスクでFPDプロセスに革命を  

ORIGINAL ARTICLE
■日本ビーテック クリーピングレスAl蒸着セルの構造を明らかに

CLOSE UP THE TREND
■日本でもいよいよ本格化してきたMRAM開発
■Canyon Materialsのグレースケールマスクが量産採用へ
■海外シフト加速で競争力問われる国内半導体パッケージ

MARKET INVESTIGATE
■半導体出荷額は前年同月比23.7%増と7月に続き高い成長を記録するも

SERIAL PUBLICATION
■スクリーン印刷のススメ 第10回

2002年10月15日号
2002年10月1日号
2002年9月15日号

INTERVIEW with Key Person
■クリスタージュ ファブレスTFT-LCDメーカー 
  a-Si TFT-LCD、低温Poly-Si TFT-LCDを開発・生産
■E Ink ICカード用電気泳動ディスプレイを開発
  SUS製a-Si TFT基板でパートナーを模索

SPECIAL FEATURE
■CEATEC JAPAN 2002 今年も有機ELD旋風が会場を席巻  
 双葉電子からはついにカラーFEDが登場  

CURRENT ARTICLE
■エルピーダメモリ 三菱電機からDRAM事業を買収
■2002洗浄総合展 半導体はウェハー洗浄が前/後工程で出展
■ソニー システム回路搭載の低温Poly-Si TFT-LCDを開発
■シャープ 2D/3D切り替え表示可能なTFT-LCDを開発

TECHNOLOGY FOCUS
■科学技術振興事業団や大阪大学など 誘導結合プラズマCVD技術を開発
■アネルバがMRAM用ドライエッチ技術を発表

SERIAL PUBLICATION
■米国のエレクトロニクス事情 第2回

URGENT INTERVIEW
■ヒューネット ついにFS方式LCDが事業化へ
  サムスンSDIへライセンス供与

ORIGINAL ARTICLE
■日本ビーテック クリーピングレスAl蒸着セルの構造を明らかに

CLOSE UP THE TREND
■有機ELDの歩留まり向上に絶大な効果
  清和光学が有機ELDのダークスポットリペア装置の概要を明らかに
■日立・三菱の半導体事業統合、ルネサス テクノロジが誕生

SERIAL PUBLICATION
■スクリーン印刷のススメ 第9回

 

INTERVIEW with Key Person
■長岡技術科学大学・斎藤研究室
 独自開発したウィスカー型エミッタを用いたFEDを提案

SPECIAL FEATURE
■VACUUM2002-真空展  大阪真空から有機ELD用対向ターゲットスパッタ装置が

CURRENT ARTICLE
■Intelが初の非プレーナ構造を発表
■産総研 直径20nm、3次元銀ナノ粒子集合体を光ディスクへ均一成膜
■iFire Technology 17型無機ELDを公開
■産総研と林原生化研 有機色素増感太陽電池で変換効率7.5%を
■三洋電機 メガネレス3Dの50型PDPを開発

TECHNOLOGY FOCUS
■松下電器がIC・受動部品内蔵可能な3次元実装モジュールを開発
■R&D向けから量産向けへ飛躍が期待される新対向ターゲットスパッタ
■産総研 カーボンナノチューブの量産にフォトリソを適用可能に

SERIAL PUBLICATION
■技術と法律のハザマ 第1回

ORIGINAL ARTICLE
■PDPガラス基板の黄変はPbOとAgの反応で発生
 Ag電極と誘電体層と一括焼成しなければ黄変せず
■低温Poly-Si TFTのa-Siプリカーサ膜をLP-CVD法で

CLOSE UP THE TREND
■有機ELDのシール材塗布法としてスクリーン印刷が急浮上
■残渣レスでサイドエッチが少ない関東化学のAg合金エッチ液

MARKET INVESTIGATE
■前年同月比25.7%増と大幅成長となった世界半導体市場
■HDD市場は01年が微減とマイナス成長
 02年は反転し4.5%増の予想だが下方修正も

SERIAL PUBLICATION
■スクリーン印刷のススメ 第8回

INTERVIEW with Key Person
■Eastman Kodak アクティブ有機ELDを自社販売

SPECIAL FEATURE
■電子デバイスプロセスに革命を起こすナノペースト
  IJ法の守備範囲を拡大、スクリーン印刷の可能性も向上

CURRENT ARTICLE
■産総研 高品位シリコン酸化膜の低温作製に成功  TFTや不揮発性メモリーのゲート酸化膜に有効
■KRIのフレキシブル基板プロジェクトがスタート
■三菱重工がHDP-CVD装置を開発し半導体製造装置市場に参入
 富士通と提携しFRAM向け層間絶縁膜成膜プロセスを共同開発

INTERVIEW with Key Man
■AIXTRON 独自のOVPDプロセスで有機EL層を1チャンバで連続蒸着

TECHNOLOGY FOCUS
■日本原子力研究所 シリコン28の大量分離・濃縮技術を開発
■日本ゼオン 有機ELDのカソードセパレータ用レジストをバージョンアップ

SERIAL PUBLICATION
■米国西海岸エレクトロニクス事情 第1回 ブロードバンドインフラの実情

ORIGINAL ARTICLE
FED蛍光パネルに電子ビームを照射し脱バインダ&発光検査を
■ミクロ技研 DFR専用のPDP向け剥離装置の概要を公表

CLOSE UP THE TREND
ウェーハ加工受託ビジネスが引火の兆し

MARKET INVESTIGATE
IDC Japan 産業分野別の国内IT投資動向を発表

SERIAL PUBILICATION
スクリーン印刷のススメ 第7回

 

2002年9月1日号
2002年8月15日号
2002年8月1日号

INTERVIEW with Key Person
■スペクトラテック 医療用モノクロTFT-LCDのベンチャーメーカー
  256階調を1786階調化するマジックで存在感

SPECIAL FEATURE
■低分子有機ELD蒸着工程に変革の予感が
  ラインソース蒸着やサイドデポが膜厚均一性や利用率で台頭

CURRENT ARTICLE
■Intelが90nmプロセスを開発
 2003年に量産を開始 他社に先駆け歪みシリコンの導入図り、遂にLow-kも

INTERVIEW with Key Man
■トッキ 次世代有機EL蒸着・封止装置はアップデポ&薄膜封止で

ORIGINAL ARTICLE
■Skionのマイナスイオンスパッタ法が急浮上
■ユーテック コンパクトなユーティリティ成膜・エッチング装置を開発

INTERVIEW with Key Man
■PDPガラス基板は二強時代の幕開けか?
  日本板硝子が満を持して高歪点ガラスを投入

TECHNOLOGY FOCUS
モリテックス 無反射加工技術の詳細を明らかに
■SAES Getters 低分子有機ELD用アルカリ成膜材のマスプロモデルを開発

CLOSE UP THE TREND
アルカリの蒸着レートが測定可能なLUXTRONの原子吸光レートモニター
■マトリクスセルPDPの必須ツール?
  東京応化工業の感光性ガラスシートが脚光

MARKET INVESTIGATE
6月の半導体出荷額はわずかなプラスに留まり、北米が大きく落ち込む
■ICカード国内市場は2010年度に7億5270万枚へ

SERIAL PUBILICATION
スクリーン印刷のススメ 第6回

INTERVIEW with Key Person
■富士通ディスプレイテクノロジーズ
  MVA技術のラインセンスなどエンジニアリングサービスも

SPECIAL FEATURE
■各種印刷法やIJ法といったアディティブ法が台頭
■PDP電極の形成法として住友ゴムの凹版オフセット印刷が見参

CURRENT ARTICLE
■半導体分社化でNECエレクトロニクスがスタート
■富士通研 量子ドットのパターニングに成功
■京都大学とパイオニアや三菱化学など5社
 有機エレクトロニクス・デバイス開発アライアンスを設立
■PDP技術討論会 径1mmのガラス管セルでPDPウォールを
 エプソンからはIJ法によるバス・アドレス電極形成の提案が

ORIGINAL ARTICLE
■イーエッチシー 有機ELDの隔壁用感光性黒色ポリイミドを開発
■日本ビーテックがバルブド蒸着セルを開発
 ドーパント比率を高精度制御できるほか、サイドデポも可能に
■トウワプロセス 保護膜付クロムマスクのリワークに成功

TECHNOLOGY FOCUS
■三洋電機 発光アシストドーパントを用いて赤色有機EL素子の特性を向上
  発光層にルブレンをアシストドーパントとしてドープ

MARKET INVESTIGATE
14年度第1四半期の国内PC出荷台数は13%減

CLOSE UP THE TREND
意地と気骨が次々世代デバイス開発のアクセル
  MIRAIの成果に久々に活気づく日本のR&D

SERIAL PUBILICATION
スクリーン印刷のススメ 第5回

INTERVIEW with Key Person
■ヒューネット FS駆動LCDのファブレスメーカー
 携帯電話用TFT-LCDは量産採用まであと一歩

SPECIAL FEATURE
■有機ELDのメインインフラとして競争が激化してきた蒸着セル

CURRENT ARTICLE
■ついに姿を現したASPLAは日本半導体産業の救世主になれるのか
■産総研 単結晶ナノ構造電極を持つTMR素子を開発
■InfoComm Japan 2002 昼間でも高コントラストのホログラムスクリーンが脚光
■シャープ亀山工場のマザーガラスサイズが明らかに
■富士通研 MOSFET電極となるシリサイド層へ多層CNTを垂直成長
■ユーテック アーク放電法によるCNT生成装置を開発

ORIGINAL ARTICLE
■新星エルフォテックから画期的なサンブラ装置が
  ブラスト速度を従来装置の10倍以上にアップ

TECHNOLOGY FOCUS
■住友大阪セメント 画期的なPDP前面フィルタ用電磁波シールドメッシュを開発
  スクリーン印刷やメッキなどわずか3工程で電磁波シールド性と黒色化を両立

MARKET INVESTIGATE
■02年度の移動通信機国内出荷台数は4195万台へ
■ようやくプラスに転じた半導体市場 本格的な回復か?
■02年第2四半期のPC出荷台数は前年比微減に

CLOSE UP THE TREND
■TFT基板のリペア技術として快進撃を続けるNECのレーザーCVD装置
■韓国NeoView 低分子有機ELDをサンプル出荷

SERIAL PUBILICATION
■スクリーン印刷のススメ 第4回

2002年7月15日号
2002年7月1日号(創刊号)
2002年6月15日号(創刊準備号)

INTERVIEW with Key Person
■富士電機 CCM方式パネルで有機ELD市場へ参戦
  円偏光フィルタレスのため3色発光パネルより高効率
■ミクロ技術研究所
  厚木工場を半透過型STN-LCD加工専用ラインに
 今年度中に投入能力を4万枚/月へ増強

SPECIAL FEATURE
■第12回ファインテック・ジャパン
  液晶セル工程でニュープロセスがついに登場
  有機ELDは蒸着装置以外にも戦線が拡大

CURRENT ARTICLE
■謎めいた半導体での包括提携
  東芝の富士通の真の狙いは何か?
■Micronic SLM方式レーザー描画装置をリリース
 DuPont PhotomasksとPhotronicsへ出荷
■大日本印刷 フレキシブル高分子有機ELDはグラビア印刷で

TECHNOLOGY FOCUS
■超短波長光EUVリソグラフィ 手が届くまでの道のりは長い

ORIGINAL ARTICLE
■ワールドエンジニアリング
  半導体、LCD、有機ELD向けに画期的な真空プレスラミネータを開発
■Saes Getters 有機ELD用ゲッターを0.2mmに薄型化

CLOSE UP THE TREND
■松下電器が受動部品を内蔵する薄膜回路形成技術を開発

SERIAL PUBILICATION
■スクリーン印刷のススメ 第3回

 

INTERVIEW with Key Person
■E Ink 独自の電気泳動ディスプレイでFPDに革命を
 POP、e-book、腕時計などへ次々と採用決定

SPECIAL FEATURE
■第12回ファインテック・ジャパンプレビュー
 TFT-LCD向けは第5世代装置が相次いで登場
 有機ELDは水面下に隠れていたマル秘装置・材料も?

ORIGINAL ARTICLE
■ユーテック ウルトラコンパクトなプラズマMOCVD装置を開発
■有機ELDの薄膜封止膜としてスパッタSiNx系が急浮上〜豊島製作所がスパッタターゲットを考案
■エイコーエンジ R&D用有機ELD蒸着・封止装置を開発
 1チャンバで有機材料、メタル、封止材料が成膜可能

CURRENT ARTICLE
■JPCA Show 2002
 半導体関連はファイン化対応一色に〜PDPではハードコートマスクがデファクトを確立?
 富士電機がCCM方式でフルカラーパネルを開発
 産総研 低電圧駆動の有機トランジスタを開発

TECHNOLOGY FOCUS
■ウェットエッチング法に強力なライバルが
 Exitechのレーザードライエッチ法が台頭
■有機ELDの蒸着工程に変革の兆しが
 Applied Filmsがラインソース成膜のインライン装置を開発

CLOSE UP THE TREND
急拡大するSOIウェーハ市場、MPU向けでもSOITECの独走続く
■東熱・伯東の搬送システム一体型ドライクリーナーに脚光

SERIAL PUBILICATION
スクリーン印刷のススメ 第2回

INTERVIEW with Key Person
■インターナショナルディスプレイテクノロジー
 CMOの日本量産基地
 コスト競争力の高い550×650mmラインで12.1型/15型を生産
 来年にはフルHDTV対応TFT-LCDを投入

SPECIAL FEATURE
■経済産業省が試算した2010年のディスプレイ市場
 マーケット規模は2000年の5.1兆円から12兆円へ
 有機ELDとFEDは過大評価、LCDとPDPは過小評価か?

SERIAL PUBLICATION
■スクリーン印刷のススメ 第1回

TECHNOLOGY FOCUS
■デュポン 画期的な厚膜パターニング法を開発
 Roll to Rollで高速・高精度パターニング

CURRENT ARTICLE
■UWBなど無線技術に注力するIntel
 MPUは熱対策でSOIウェーハ導入へ
■SID 2002 やっぱり主役は有機ELD
 台湾の新興メーカーが争うようにデモ
 サムスンSDIは燐光発光のカラーパネルを

ORIGINAL ARTICLE
TFT-LCD検査装置市場に異変
  VテクがTFTアレイ検査装置進出に成功
■放電破壊を防止できる画期的なクロムマスクが登場
  トウワプロセスが保護膜付きクロムマスクを開発
■動き出した100nm検証ラインは日本復活の切り札になるか

CLOSE UP THE TREND
システムオンパネル、フレキシブルパネルへ新技術が続々発表
  ポストELA技術によりモビリティ・スループットを向上
■PDP業界のダークホースが存在感をアップ
 飛ぶ鳥を落とす勢いのUPD
■コンソーシアム設立相次ぐEB露光技術
  LEEPLはデファクトになれるか?

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