絵で見る低温poly-Si TFT-LCD製造プロセス2017年版


★低温poly-Si TFT-LCDの製造プロセスが一目瞭然 !!
★わかりにくかったアレイプロセスを徹底図解!


★画素領域だけでなく駆動回路領域のプロセスも網羅!
★断面図だけでは知り得ないトランジスタ構成を3D図で解説
★トランジスタ構造はLDD、GOLDD、Dual Gate、CLDDをカバー!
★CF、液晶セル、組み立てまですべての工程を網羅!
★3D化方式もわかりやすく解説!!

★トータルファイル数は計57(A4用紙換算で約150ページ)

★プロセスフロー図は約270


■低温poly-Si TFT-LCDの構造

@シングルドレイン構造
Aデュアルゲート構造
BLDD構造
CGOLDD構造
DCLDD構造

■3D化技術

低温とは?!(LTPSの課題)

■結晶化プロセス

■低温poly-Si TFTアレイ製造工程
トップゲート構造
@シングルドレイン(SD)タイプ
ALDD構造
BGOLDD構造
・・・・poly-Si膜形成プロセス
・・・・TFTエリア形成プロセス
・・・・ゲート電極形成プロセス
・・・・キャパシタ電極形成プロセス
・・・・P-TFTイオン注入プロセス
・・・・N-TFTイオン注入プロセス
・・・・データ線形成プロセス
・・・・コンタクトホール形成プロセス
・・・・パッシベーション膜形成プロセス
・・・・水素化処理
・・・・平坦化プロセス
・・・・コンタクトホール形成プロセス
・・・・画素電極形成プロセス

■カラーフィルタ製造工程
・・・・IPSモード用カラーフィルタ
・・・・VA/TNモード用カラーフィルタ
・・・・BM形成
・・・・RGB着色層パターニング
・・・・フォトリソスペーサー形成

■液晶セル工程
・・・・ポリイミド塗布・ベーク
・・・・ラビング
・・・・シール剤塗布
・・・・スクライブ・ブレイク
・・・・液晶滴下、注入
  ・・・・セル薄型化

■モジュール組み立て工程
・・・・ドライバIC接続
・・・・ACF接続
・・・・バックライトの構造

(すべての工程に使用される材料、装置も詳細に解説)


▲トランジスタ構造


▲プロセスフローサンプル@(イオンドーピングプロセス)


▲プロセスフローサンプルA(a-Siのpoly-Si化法)


▲3D化方式

E Expressならではの完全オリジナルCD-ROM

CD-ROM for Windows & Macintosh
定価:総額22,000円
発行:2017年1月12日
販売元:イー・エクスプレス
お問い合わせ・申し込み先:TEL 090-4203-4633(担当:亀矢)
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Manufacturing process of a-Si TFT-LCD Manufacturing process of oxide-TFT
Manufacturing process of OLED Manufacturing process of OLED lighting device
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