絵で見るCNT-TFT製造プロセス2012年版
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★次世代のTFT、CNT(カーボンナノチューブ)-TFTの製造プロセスをCD-ROMで完全図解 ★基本プロセスから次世代プロセスまでをフルカバー ★デバイス構造、使用材料をわかりやすく分類 ★CNT-TFTの二大用途であるプリンタブルTFTと高性能TFTの違いを明記 ★ポイントであるCNT半導体層形成プロセスはプリトリートメント処理からCVD/ウェットコートフローまで詳細に解説 ★デバイス構造図、プロセスフロー図をすべて3D化 ★ファイルはインターネットエクスプローラーなどのブラウザ形式なのでどんなPCでもOK ★トップページから各論へ自在にアクセス可能 ★ボリュームはブラウザページに換算すると計35ファイル(A4用紙換算で100ページ相当) ★プロセスフロー図は220以上 |
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■ボトムコンタクト型の製造フロー(総論) ■トップコンタクト型の製造フロー(総論) ■ゲート形成プロセス ■ゲート絶縁膜形成プロセス ■ソース/ドレイン形成プロセス ■画素電極形成プロセス ■半導体層形成プロセス ■表面改質プロセスを利用したソース/ドレインと半導体層形成プロセス ■パッシベーション形成プロセス ■フレキシブル基板製CNT-TFT作製における注意点 |
E Expressならではの完全オリジナルCD-ROM
CD-ROM for Windows & Macintosh
発行:2012年2月1日
定価:総額17,000円
販売元:イー・エクスプレス
お問い合わせ・申し込み先:TEL 0476-42-6447
E-Mail:info@e-express.co.jp
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